应用案例

【概述】

某研究团队使用ATA-2042高压放大器，搭建光学测试实验系统。

实验名称：压电MEMS微镜偏转角度测试

实验内容：主要包括对所制备的压电MEMS偏转振镜进行系统性的偏转角度测试。通过对振镜在不同驱动条件下的机械偏转行为进行精确测量，可以定量评估其光学扫描性能，包括扫描范围、响应线性度及稳定性等关键参数。这些实验结果不仅验证了器件的设计合理性和加工精度，也为后续在产品级应用中优化驱动策略、提升扫描精度和可靠性提供了重要的实验依据和技术支撑。

研究方向：MEMS压电器件

测试设备：ATA-2042高压放大器、信号发生器、激光器、示波器、自研光学测试平台等。

实验过程：

图1：实验装置图

首先，由信号发生器输出目标频率的高精度正弦激励信号，该信号经过严格调节以保证幅值和频率的稳定性。随后，信号被ATA-2042高压放大器放大至所需驱动电压水平，并施加至MEMS微镜的驱动端。在测试过程中，激光束垂直入射至微镜镜面，随着施加的驱动电压作用，微镜表面产生周期性的扭转运动，从而使反射光在置于光路中的白色光罩上形成连续、可观测的扫描轨迹。通过对光罩上轨迹的观察和测量，可以获取微镜的扫描角度，其对应的光学扫描角为实际镜面扭转角的一半，从而实现对器件动态响应的定量分析。

实验结果：

图2：实验结果

在Y轴偏转模式下，随着施加驱动电压的逐步增加，当驱动电压升至35V时，微镜的最大机械偏转角达到了17.56°，这一结果表明在该驱动条件下，微镜能够实现较大的扭转幅度并保持稳定的动态响应。在X轴偏转模式下，当驱动电压提升至28V时，微镜的最大偏转角达到了20.04°，显示出该轴在较低驱动电压下即可实现更大的扫描范围。上述实验结果不仅反映了微镜在不同偏转轴上的力学特性差异，也为后续器件的驱动电压优化及扫描性能调控提供了可靠的实验依据。

安泰放大器在此应用中的产品优势：

一、高电压与电流输出能力——覆盖电压梯度驱动需求

二、宽频带与高保真线性放大——匹配MEMS微镜驱动需求

三、高输出稳定性——保障实验的激励一致性

【推荐产品】：ATA-2042高压放大器

图：ATA-2042高压放大器指标参数

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