功率放大器应用领域小百科:微流控芯片加工工艺有哪些?
微流控片是一种能够在微型管道中进行微小体积液体操作的芯片。常用于微流控技术中,可应用于医学诊断、环境监测等领域。而其加工工艺则是保证微流控芯片精度和性能的重要环节。作为功率放大器的应用领域之一,Aigtek安泰电子今天就给大家揭秘。
据悉,目前微流控芯片加工工艺主要包括光刻、蒸发、沉积、刻蚀等步骤,其中光刻是*为重要的一步。在这一步骤中,需要利用光刻胶、掩膜、光源等工具,通过光照和化学反应等过程将芯片的结构图案化在硅片上,保证微流控芯片的精度和性能。微流控芯片加工工艺是微流控技术中不可或缺的一环。其对于芯片的精度和性能起到至关重要的作用。
常见的微流体通道的加工工艺有光刻和刻蚀技术、热压法、模塑法、注塑法LIGA法和激光烧灼法等传统方法以及3D打印等多种技术,下面就光刻法这两种常用的方法进行详细解说。
光刻和刻蚀技术
光刻是利用光成像和光敏胶在微流控芯片的基片如硅、玻璃等材料上图形化的过程,其基本工艺过程包括:预处理涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜等
a.基片清洗
通过抛光、酸洗、水洗的方法使硅、石英或玻璃等基片表面得以净化,并将其干燥,便于后续光刻胶与基片表面的粘附;
b.涂胶
在处理过的基片表面均匀涂上一层光刻胶:
c.前烘
去除光刻胶液中溶剂,增强光刻胶与基片粘附以及胶膜的耐磨性;
d.曝光
曝光是光刻中的关键工席,主要是用紫外光等透过掩模对光刻胶进行选择性照射,在受光照的地方,光刻胶发生化学反应,改变感光部位胶的性质,如图所示;
e.显影
把曝光过的基片用显影液清除应去掉的光刻胶,以获得与掩模相同(正光刻胶)或相反(负光刻)的图形,如图所示;
f.坚膜将显影后的基片进行清洗并烘烤,彻底除去显影后残留于胶膜中的溶剂或水分,使胶膜与基片紧密粘附,防止胶层脱落,并增强胶膜本身的抗蚀能力。
带宽:(-3dB)DC~150kHz
电压:1600Vp-p(±800Vp)
电流:40mAp
功率:32Wp
压摆率:≥534V/μs
可程控
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