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为了对微位移平台进行测试,首先需要通过波形发生器和功率放大器为微位移放大机构中的压电叠堆施加正向电压,使其输出相应的位移量,其次通过连接有电脑的激光测试仪对微位移平台的位移进行实测。
在系统控制模块中设计合适的激励信号,到信号产生模块,从而产生一个小电压的模拟激励信号,该信号经过功率放大器模块进行电压放大后输入通道切换模块,通道切换模块选择换能器阵列中合适的压电换能器,将放大的电压信号作用于该换能器上。
装有dSPACE系统的计算机通过功率放大器将驱动电压作用在压电双晶片上,通过光纤位移传感器测量压电双晶片的位移,并将信号传回dSPACE板卡。为了比较控制效果并获得迟滞模型的辨识数据,测量了压电双晶片驱动器在频率为1Hz、50V峰值正弦信号作用下的响应。
测试系统主要由LabVIEW程序,模块化仪器信号发生器、功率放大器,调理分压电路和模块化仪器数据采集卡组成。
信号发生器可激发方波、锯齿、正弦等电信号函数,最大加载电压幅值5V,通过功率放大器进行放大,放大倍数范围为1-100倍,最高输出电压为1600Vpp,结合功率放大器作为实验的电场激发电源。
静电悬浮系统的负载为电容器,一般采用高压放大器提供的电压来产生电场力。
驱动电源由任意波形发生器和高压放大器组成,可输出不同峰值电压、不同频率的正弦波。
信号源产生激励信号,通过功率放大器进行电压放大,加在压电片两端,激励出超声lamb波,在板上传播一段距离后由另一片压电片进行接收。
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